Quid Planar Magnetrons in PVD coatings?

Planar Magnetron est in essentia, a classic "diode" mode spundering cathode cum etiam permanens magnes ordinata post cathodem. Haec magnetica ordinata disposita ut magneticam campum est normalis ad electrica agro in clausa semita et forms a terminus "cuniculum" quod pedicas electrons Medical instrumento coating machina circa superficiem in scopum. Hoc electronice captanda amplio ad efficientiam Gas Ion formatio et constringat de missione Plasma, permittens, permittens superior current in inferioribus Gas pressura et Achieves A superiore vapor depositione) coatings.

Plures alia magnetron spundly cathode / scopum figuras fuisse solebat, sed commune sunt circulari et rectangulis. Rectangula Magnetrons saepe in maius scale in linearly putter systems ubi subiectis scan linearly praeteritum peltas in aliqua forma TRADUYOROR balteus et carrier. Circularis magnetros magis communiter in minor scale confocusis batch systems vel una lagosam stationes in botter Tools.

Licet magis universa exemplaria potest fieri, Cathodes - comprehendo virtualiter omnes circulares et rectangulis - habere simplex concentricis magnes exemplar cum centro ens polus et perimeter contrarium. Nam circularis Magnetron hoc esset relative parva per magnes in centro, et annulus annulus magnetis oppositos verticitatem circa extra cum gap inter.

Nam rectangulum Magnetron centro est Northmanni a bar usque ad longum axem (sed minus quam plenum longitudinem) cum rectangulis "saepemque" in oppositam verticitatem omni modo circa eam cum gap inter. Quod Gap est ubi Plasma erit, circularis circularis in circularibus Magnetron vel elongatur "genus track" in rectangulis. Nota quod, praesertim in maior catenodiis, magnes potest esse plures individuales quam una solida pars.
Sicut in scopum cathode coating materia adhibetur in PVD et materiales sputters off, vos poterit videre haec propria exesa exempla in scopum faciem. In facto in eventu alicujus magnes problems ut defuit, misaligned, aut faciem ejus, et exesa semita erit abnormes et hoc potest esse bonum diagnostic indicium huiusmodi problems in Magnetron pulcntering cathode.

Et polus orientatio de singulis magnetibus oportet esse tale quod polus formatur ad centrum, et contrarium polus ad perimetrum. Sunt autem duobus modis hoc facere. In communi est install in magnetets 'Septentrionalis / Meridionalis Polis perpendicularis ad planum in scopum, una polus ad scopum et alterum finem - in "in magnetica (oppositum a polus laminam fecit de magnetica (Northmon Poly laminam fecit de Magnetice (Northmoneus Ferro) materia.
Integram magneticam circuitus sic aperta North polus unum magnetis (vel catena singularum magnetem si non una) cum suis oppositum mouth polo copulata magneticam ad septentrionalem alterius, cuius mouth polo est deinde aperta. Haec magnetically contrarium aperto fines vultus ad scopum et inde magnetica agro vestibulum supra superficiem scopum formare electronicam captanda, plasma concentring cuniculum
Nota quod PVD Magnettron operatur cum aut magnetica alignment - centro potest esse aquilone et perimeter potest esse meridianam, aut e converso. Tamen in Planar Magnetron spundly systems, sunt plures cathodia in aequo proximis ad invicem, et non vis errare Septentrionalis / Meridionalis agri formatae in inter scuta.
Illa n / s Magnetron magnetica agros debet nisi in scuta, facies, formatam desideravit magneticam cuniculis est. Ideo omnino optandum fac omnes catenodia in uno systema alignetur eodem modo, aut aquilonem per perimeters, aut per circuitum. Et pro facilities cum multiplex spryssus systems, quod etiam appetibile ut ea omnes idem ut Cathodia potest tuto potest inter systems sine sollicitudine magnes alignment.