Quid sunt Magnetrones Planar in Coatings PVD?

Magnetron Planar, in essentia, ordo "diode" est modus salientis cathode cum additione magnetis permanentis post cathode ordinata. Hic ordo magneticus ita ordinatur ut campus magneticus normaliter campum electricum in via clausa sit et limitem " cuniculi" format, qui laqueos electrons facit. Instrumentum Medical Machina Coating circa superficies scopum. Haec electronica captanda efficientiam formationis gasi Ionis auget et missionem plasmatis constringit, sino altiorem currentem ad inferiorem gasi pressionem et altiorem putris depositionis ratem in PVD (Physical Vapor Depositionis) coatingit.

Multae variae figurae Magnetron putris cathode/scopae adhibitae, at frequentissimae sunt circulares et rectangulae. Magnetrons rectanguli saepissime in majori magnitudine inveniuntur In linea Magnetron Systemata putridum ubi scuta substrat linealiter praeter clypeos in aliqua TRADUCTOR cinguli seu tabellarii forma. Magnetrones circulares communius inveniuntur in minore magnitudine Systems Confocale Batch vel laganum unum in instrumentis botris.

Quamvis exemplaria plura composita fieri possint, pleraque cathodes - inclusa virtualiter omnia circularia et rectangula -, habent simplicem magnetem concentricum cum centro uno polo et perimetro opposito. Nam Magnetron circularis, hoc est relative parvum rotundum magnetem in medio, et anulus anulus anulus oppositae polaritatis circa extra cum intervallo intermedio.

Centrum enim Magnetron rectangulum unum regulariter est bar- dium longitudinis, sed minus plenae longitudinis) rectangulo "saepis" oppositae polaritatis usquequaque intervallo intermedio. Spatium est ubi plasma erit, anulus circularis in rotundo Magnetron vel "vestigium genus longum" in rectangulo. Nota quod magnetes, praesertim in maioribus cathodibus, plures esse possunt segmenta singula potius quam una solida.
Cum scopum cathode efficiens materiale in PVD et materialibus veribus adhibitum est, videre poteris haec exemplaria propria exesa in scopo faciei. Revera, in eventu cuiuslibet magnetis problematum quae desunt vel misaligned vel inversi sunt, via exesa erit abnormis et hoc bonum esse potest indicium diagnostica talium quaestionum in tuo Magnetron Putrente cathode.

Polus orientatio singulorum magnetum talis esse debet ut unus polus ad centrum et polus oppositus ad perimetrum formetur. Duobus modis hoc facere. Frequentissimum est polos meridionales perpendiculares ponere ad plano scopo magnetes, polum unum versus scopo, et alium finem - polum " liberum " finem / oppositum polum - magnetice aliis magnetibus per laminam policam pontes. e magnetica (plerumque ferrea) materia.
Circuitus magneticus totus sic est apertus polus septentrionalis unius magnetis (vel catena singularium magnetum si non una pars) cum suo opposito polo meridionali copulato a materia magnetica ad polum aquilonem alterius, cuius polus meridionalis tunc apertus est. Hi duo fines patentes magnetice oppositi versus scopum spectant et fornices campi magnetici provenientes supra scopum superficiem, ad formandum electronicum captandum, cuniculi plasma.
Nota PVD Magnetron opera cum alignment vel magnetica - centrum septentrionalis esse potest et perimetrum meridianum vel vice versa. In plerisque autem systematis Magnetron Planar putris, multae cathodes sunt in satis prope inter se propinque, et non vis campi septentrionis/meridionalis inter scuta formati.
Magnetron agri magnetici N/S illi tantum in faciebus scutorum esse debent, desideratos cuniculos magneticos ibi formantes. Quam ob rem omnino optandum est ut omnes cathodes in uno systemate eodem modo perpendantur, vel omnes septentriones in suis perimetris, vel omnes meridionales in suis perimetris. Et pro facultates cum multiplicibus systematibus putris, eadem omnia facere optabile est, ut cathodes tuto mutentur inter systemata sine cura magnetis alignment.