Features Of In-line Suttering Systems

Ratio "In-linea" PVD putris ratio una est in qua subiectae lineares sub una vel plures cathodes Sputter transeunt, ut tenues membranas suas efficiant. Plerumque subiectae onerantur in tabellarium vel grabatum ad faciliorem hunc motum, et quaedam minora systemata tractant unum tantum grabatum per batch currunt. Maiores systemata facultatem habent multiplices cursatores tractandi per usum statio grabati finis tracto qui unum grabatum post alium mittat et recipiat in praesidio continuato per subsystem onerariis transeuntibus, extremum cuiusque posterioris caudae prioris.

Communesissimum, ac minimum complexum, conformatio est, ut cursares et cathodes horizontales cum cathodibus superne habeant, et deorsum in putris propensionem substratos. Hoc modo, gravitas sola solet esse res subiectas in grabatis tenens, nec solum res in grabatis mechanismum transportandum tenens, quae modo catenae per cancellos per thalamum vacuum decurrentes esse possunt.

Ordinatio illa horizontalis etiam fieri potest cum cathodibus in ima et substratis superne putris orientationis, sed plane hoc instrumentum aliquantum implicat, nunc mechanica postulata subsidia substratorum in loco quo non cadunt. Unius enim trilinei tunica, haec figura non usitatissima est, sed interdum pro duplici tunica, cum cathodes tam supra quam infra, cursare. In hoc casu cursare aptas foramina habere subiectas, ut ima latera ab inferiore cathode stimulum tunicam recipere possint, simulque a superiori cathode stimulus e superiore parte.

Sed horizontalis in particularibus incommodum habet. In modo putris, particulae quae intra conclave generantur facile terram subiectae et in cinematographico infixae possunt, et quae fieri debent. Systema depositionis sui aliquantum contaminant cum aliis locis materialibus comparandis quam modo in subiectis. Maximus exitus conservationis exercitatione res mundas custodit. In impetu orientationis particulae illae subiectae non accedunt, sed in scuta devenire ac rursus debellare possunt. Aluminium chartaceum tenuis membrana machinae efficiens vacuum

Sic in meliore ambitu particulato, est etiam optio directio verticalis pro parte salientis. Tam cathodes quam grabatus verticales sunt, et depositio lateralis est. Instrumenta et onerariis systematis substantialiter magis implicata fiunt ut substrationes in grabato custodiantur et etiam grabatum in illa orientatione contrectant, at particulae multo minus in cathode vel substrata cadant.

In quavis harum figuratione, omnes variae cathodum genera adhiberi possunt, cum Magnetrons fere maxime popularis, vel plani vel inset. Potentia autem esse potest quaelibet variarum specierum in promptu ut RF, MFAC, DC, vel DC pulsu prout applicando desideratur. Gradus libitum sicut Sputter Etch, Calor, vel Ion Fontes etiam accommodari possunt, et plena instructio instrumentorum et moderaminum praesto sunt ad tunicas metallicas/conductivas, dielectricas, opticas tunicas vel alia stimuli applicationes.

Quamvis fieri possit aliis generibus uti, pleraeque cathodes in talibus systematis sunt rectangulae. Pro regula longus axis cathodae rectangulae est trans cameram et axis brevis secundum directionem itineris grabati. Et, licet cathodes configurari possit ob intentionem non uniformem tunicam, maior pars usorum volunt subiectos suos uniformiter liniri. In systematis lineae, ut agimus, uniformitas in directione grabati peregrinationis dependet a stabilitate cathodae potentiae et pressionis cubiculi / mixtionis gasi, cum stabilitate celeritatis onerariae, ac tandem initium/statio. positiones ante et post depositionem zonam.

Pro uno grabato, vel pro primo et ultimo grabato in apice ad caudam continuum currendum, positionis initium (etiam positionis statis) longe satis esse debet ab immediato sub scopo, ne in quavis pre- depositione inordinata evadat. periodus putris stabilizationis, antequam a scan incipiatur. Quaelibet initia, terminationes vel conversiones scan directiones fieri debent extra zonam ipsam depositionis et scan per zonam depositionis stabilis et non interrupta. Scans singulus in utramque partem esse potest, vel ultro citroque ad crassiores tunicas aedificandas.

Tres et quattuor systemata target satis communia sunt, et camerae longitudo augeri potest ad accessiones necessarias accommodare. Cum copiarum satis copiarum multiplex scuta simul in uno saltu adhiberi possunt. Cum variae materiae scopo in cathodes, multiplices stratae sic in uno saltu deponi possunt, vel cum scutis duplicatis, crassiores tunicae in uno saltu obtineri possunt.

Uniformitas in altero axe, perpendicularis ad grabatum scan- dere directum, determinatur per cathodae observantiam, incluso, praesertim pro reactivo putris, possibilibus constitutionibus gas distributionis. Apud Magnetrons, positio et fortitudo magnetum utrumque scopum utendo et inhaerentem uniformitatem afficere possunt, et plerumque commercium inter duos istos aspectus intervenit. Inter scopum longitudinis, tam uniformitas quam utilizationes plerumque satis bonae sunt, sed ad fines, ubi "vestigium genus" exesa volvitur via, depositio rate et inde cinematographici crassitudo defluit, nisi magnetes ad compensandum adaptentur; at si hoc fit, alveus exesus eo altius accipit et ut scopum utendo reducit (recipis massae totius scopo, quae ante profundissimam exesionem punctum evulsum ad laminam veniatam perrumpit).

Indicium ad processus caudae in systematis multi grabatis ingentes etiam satis utile est ad scopum materiale utendum in terminis plus in subditis tuis, et minus in scutis et in aliis cubiculi partibus. In uno grabato systemate, grabatum plumbeum solum grabatum est, et cum e regione depositionis relinquatur, pergere debet usque dum trahi ore cauda - totum exitum habet, scopo adhuc ardendo toto tempore. quae efficaciter consumit materiam clypei.

In apice ad caudam accedunt, breve tantum interstitio inter caudam unam et proximam extremum est ac dein iterum in "vivere" grabatum substratum iens, novo grabato intrante, sicut grabatum principale exit, zona depositionis. Multae variabiles sunt quae hunc numerum afficere possunt, sed pollicis regula ad caudam accessus fere duplo fere esse potest in materiali consuetudine sicut grabatus unus.

In summo versatilitatis fine, valvularum fissurarum accessio ad sectiones processus disiunctas, cum automationis dicione sophisticata coniuncta, efficere potest ut varias sectiones simul cum diversis ambitibus gasorum (pressuris et mixtis gasi) operari possit, fortasse directum putris in unum tabulatum. grabatum in sectione una, cum simul reactively putris diversum stratum super alium grabatum in sectione separata separata. In-line putris systemata nativus potest ad accommodare amplis processuum requisitis ac substrata sizes.